[发明专利]翻转装置和基板加工系统在审
申请号: | 202010717041.8 | 申请日: | 2020-07-23 |
公开(公告)号: | CN112440389A | 公开(公告)日: | 2021-03-05 |
发明(设计)人: | 酒井敏行;中田胜喜 | 申请(专利权)人: | 三星钻石工业股份有限公司 |
主分类号: | B28D1/22 | 分类号: | B28D1/22;B28D7/00;B28D7/04 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 赵曦 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 涉及翻转装置和基板加工系统。能够节省空间地执行基板翻转。翻转装置(54)具备轴部(541、541′),与基板小片(S)的侧面接近;第一手部(542、542′),能够在轴部(541、541′)的长度方向上移动地装配于轴部(541、541′),向基板小片(S)侧移动来保持第一主面;第二手部(543、543′),能够在轴部(541、541′)的长度方向上移动地装配于轴部(541、541′),向基板小片(S)侧移动来保持第二主面;翻转部(544、544′),当第一手部(542、542′)和第二手部(543、543′)保持着基板小片(S)时将轴部(541、541′)绕轴旋转,从而将基板小片(S)翻转。 | ||
搜索关键词: | 翻转 装置 加工 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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