[发明专利]一种AlTiN梯度硬质涂层及其制备方法在审
| 申请号： | 202010713473.1 | 申请日： | 2020-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN111826611A | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 兰睿;卢国英;石昌仑 | 申请（专利权）人： | 常州夸克涂层科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/06;C23C14/32 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 梅洪玉 |
| 地址： | 213000 江苏省常州市武进区常武中路18号常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种AlTiN梯度硬质涂层，包括基体，基体的顶部附着有Cr打底层，Cr打底层的顶部附着有CrN过渡层，CrN过渡层的顶部附着有CrN+AlTiN过渡层，CrN+AlTiN过渡层的顶部附着有AlTiN梯度层。本发明还提供了一种AlTiN梯度硬质涂层的制备方法，包括以下步骤：首先在基体上表面采用电弧离子镀沉积Cr打底层；然后在Cr打底层上沉积CrN过渡层，继而在CrN过渡层上沉积CrN+AlTiN过渡层，最后在CrN+AlTiN过渡层上通过改变四个梯度的偏压沉积AlTiN梯度层。本发明的AlTiN涂层具有高的硬度和良好的膜基结合力。因此采用梯度AlTiN涂层，既可以维持AlTiN涂层自身的优点，又提高了膜基结合力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 altin 梯度 硬质 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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