[发明专利]一种多层梯度硬质涂层及其制备工艺在审
| 申请号： | 202010712065.4 | 申请日： | 2020-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN111850483A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 兰睿;卢国英;石昌仑 | 申请（专利权）人： | 常州夸克涂层科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/02;C23C14/50;C23C14/06;C23C14/16 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 梅洪玉 |
| 地址： | 213000 江苏省常州市武进区常武中路18号常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多层梯度硬质涂层，包括基体，基体的顶部附着有Cr打底层，Cr打底层的顶部附着有CrN层，CrN层的顶部附着有CrN+AlTiN过渡层，CrN+AlTiN过渡层的顶部附着有AlTiN梯度层，AlTiN梯度层的顶部附着有AlCrN+AlTiN过渡层，AlCrN+AlTiN涂层的顶部附着有AlCrN稳定层。本发明还提供了一种制备方法，步骤首先在基体上表面采用电弧离子镀沉积Cr打底层；然后在Cr打底层上沉积CrN层，继而在CrN层上沉积CrN+AlTiN过渡层，在CrN+AlTiN过渡层上通过改变偏压沉积AlTiN梯度层，在AlTiN梯度层上沉积AlCrN+AlTiN过渡层，最后在AlCrN+AlTiN过渡层上沉积AlCrN稳定层。本发明可以结合AlCrN涂层和AlTiN涂层的优点，表面的AlCrN层耐磨耐腐蚀，抗粘着性和抗高温氧化性好，AlTiN有更高的高温硬度,极大的提高了膜基结合力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多层 梯度 硬质 涂层 及其 制备 工艺 | ||
【主权项】：
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