[发明专利]光刻机的浸液热效应评价装置、标定装置及其评价方法在审
| 申请号： | 202010678450.1 | 申请日： | 2020-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN111830794A | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 浙江启尔机电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01K17/00 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人： | 林君勇 |
| 地址： | 310006 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光刻机的浸液热效应评价装置、标定装置及其评价方法，包含热效应校准系统和热效应测试系统。其中测试系统包含恒温流体供给系统，真空发生器用于提供系统所需负压和热效应测试用承片台；校准系统采用蒸发功率校准装置对测试系统进行校准，校准装置包含保温罩、加热装置、均热盘和测温装置组成，校准装置提供恒定已知的热通量予测试系统，对比输入热通量与实测热通量的差，实现热通量校准功能。提供的测试方法及配套设备，相比传统测试方法具有实时在线测量、准确度可校、相对成本低廉的优点。利用温差曲线比较法和平均热功率法评价浸液热效应，有利于排查工艺缺陷；有效评价浸液热效应随时间的变化情况。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 浸液 热效应 评价 装置 标定 及其 方法 | ||
【主权项】：
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