[发明专利]一种基于SNAP结构回音壁微腔探针式测量装置在审
| 申请号： | 202010645892.6 | 申请日： | 2020-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN111982466A | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 董永超;陈剑;赵泽政;孙鹏辉;王晗 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01M11/04 |
| 代理公司： | 广东广信君达律师事务所 44329 | 代理人： | 余胜茂 |
| 地址： | 510062 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于SNAP结构回音壁微腔探针式测量装置，包括基板、SNAP结构回音壁微腔、耦合波导、探头、回弹装置和盖板，基板的表面开有相互垂直且轴线不相交的横向微沟槽和竖向微沟槽，耦合波导套设于横向微沟槽，SNAP结构回音壁微腔可滑动套设于竖向微沟槽内；SNAP结构回音壁微腔与耦合波导接触。本发明将SNAP结构回音壁微腔和耦合波导构成的耦合装置封装成为一个整体器件；在测量过程中，SNAP结构回音壁微腔沿其竖向微沟槽的轴向移动，不会在使用过程中造成谐振谱特性的偏差。SNAP结构回音壁微腔的不同位置耦合产生不同的谐振谱，经过对SNAP结构回音壁微腔谐振谱特性的分析可以实现抗干扰性好、重复使用率高和准确可靠的传感测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 snap 结构 回音壁 探针 测量 装置 | ||
【主权项】：
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