[发明专利]金属氧化物纳米线阵列的制备方法及其制备的纳米线阵列在审

专利信息
申请号: 202010633959.4 申请日: 2020-07-02
公开(公告)号: CN111924799A 公开(公告)日: 2020-11-13
发明(设计)人: 段学欣;刘宇轩;方烨 申请(专利权)人: 天津大学
主分类号: B82B3/00 分类号: B82B3/00;B82Y30/00;B82Y40/00
代理公司: 北京华夏正合知识产权代理事务所(普通合伙) 11017 代理人: 韩登营
地址: 300072*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明涉及一种金属氧化物纳米线阵列的制备方法及其制备的纳米线阵列。所述制备方法包括以下步骤:在衬底表面上旋涂压印胶;将纳米阵列压印在压印胶上;将衬底倒置使其具压印胶的一面与硅基底结合,以在压印胶和硅基底之间形成纳米级的微通道阵列;通过毛细作用使金属盐溶液流入至微通道阵列中,并在微通道阵列中进行自组装,从而形成纳米线阵列;将微通道阵列加热以使微通道阵列中的液体挥发,从而定型;将衬底及其压印胶从硅基底揭除以在硅基底上获得金属盐纳米线阵列;以及对金属盐纳米线阵列进行加热使其热分解,以在硅基底上获得金属氧化物纳米线阵列。该制备方法成本低,制备得到的阵列整齐、精度高,产率高。
搜索关键词: 金属 氧化物 纳米 阵列 制备 方法 及其
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