[发明专利]多通路式蒸发源有效
| 申请号： | 202010630958.4 | 申请日： | 2020-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN111621750B | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 艾金虎 | 申请（专利权）人： | 埃频（上海）仪器科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 | 代理人： | 李镝的 |
| 地址： | 201415 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种多通路式蒸发源，所述多通路式蒸发源包括：多组独立蒸发通道，被配置为分别对镀膜对象提供蒸发操作；集成罩，被配置为将所述多组独立蒸发通道的顶端集成在一封闭空间内，所述多组独立蒸发通道通过其顶端将蒸发的靶材传送至所述镀膜对象；组合挡板，被配置为位于所述集成罩与所述镀膜对象之间，通过开启动作和关闭动作，使所述多组独立蒸发通道与所述镀膜对象之间连通或隔断；安装法兰，被配置为将所述多组独立蒸发通道与挡板驱动集成在一起；挡板驱动，被配置为控制并驱动所述组合挡板的开启动作和关闭动作。 | ||
| 搜索关键词： | 通路 蒸发 | ||
【主权项】：
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