[发明专利]一种半导体元件生产用切筋设备及其工作方法有效
| 申请号： | 202010628152.1 | 申请日： | 2020-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN111633157B | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 蒋振荣;周海生 | 申请（专利权）人： | 安徽富信半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B21F11/00 | 分类号： | B21F11/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙) 34160 | 代理人： | 韩立峰 |
| 地址： | 243000 安徽省马鞍山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体元件生产用切筋设备，包括底座，底座上固定安装有支撑柱，支撑柱的顶部固定安装有滑槽板，滑槽板上滑动安装有滑板，滑槽板的一侧固定安装有第一气缸，第一气缸的输出杆端部与滑板的一端固定连接，滑板的上表面一端固定安装有第二气缸，第二气缸的输出杆底端固定安装有固定平板，固定平板的底部固定安装有切筋机构；本发明通过第二电机对相邻两个切筋刀头之间的间距进行调节，通过第一电机带动活动平板移动，调节活动平板、刀座安装板底部的切筋刀头的间距，本发明可以快速方便地调节各个切筋刀头之间的间距，从而满足不同尺寸的切筋需求，可以一次性完成切割工作，工作效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 元件 生产 用切筋 设备 及其 工作 方法 | ||
【主权项】：
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