[发明专利]一种悬臂梁式光学MEMS压力传感器在审
| 申请号： | 202010627105.5 | 申请日： | 2020-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN111707395A | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 吴迅奇;李伟伟 | 申请（专利权）人： | 上海拜安传感技术有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/04 | 分类号： | G01L1/04;G01L5/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201200 上海市浦东新区中国*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种悬臂梁式光学MEMS压力传感器，包括悬臂梁结构和传感器防护壳，所述悬臂梁结构的上方设有由两个受电弓碳滑板托架组成U型托架，悬臂梁结构梁臂和底座之间有一定的缝隙，缝隙在靠近悬臂梁结构根部位置一直到U型托架之前是1mm，从U型托架到远离悬臂梁结构根部的位置的缝隙保持1.5mm，悬臂梁结构上还安装有MEMS光学压力敏感芯片，传感器防护壳通过螺钉固定在悬臂梁结构上，本发明传感器件是在不改变受电弓本身力学结构的基础上进行加装的，且利于组装和拆卸，因此可以大批量地列装在运营列车的受电弓上，实时监测弓网之间的工作状态，保障安全运营。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 悬臂梁 光学 mems 压力传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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