[发明专利]一种扫描探针组合纳米量热传感器测量系统有效
| 申请号： | 202010626968.0 | 申请日： | 2020-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN111999337B | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 张海涛 | 申请（专利权）人： | 天津丘山仪器科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N25/20 | 分类号： | G01N25/20;G01K19/00 |
| 代理公司： | 天津英扬昊睿专利代理事务所(普通合伙) 12227 | 代理人： | 李福新 |
| 地址： | 300000 天津市西青区西青经济技术开发区赛达九*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供一种扫描探针组合纳米量热传感器测量系统，包括真空泵、真空规管、真空腔等，所述真空泵和真空腔连接，所述真空腔内安装有测量结构，所述真空腔通过真空电穿通、导线和测量仪连接，所述测量仪通过数据线和计算机连接，所述计算机通过数据线和位移控制器、真空规管连接；本发明设计了一种组合纳米量热传感器阵列，以及相应的测试系统。其传感器阵列由多个纳米量热传感器组成，每个纳米量热传感器的电气连接引脚布置在其周围，纳米量热传感器与外部测试系统的电气连接由三维位移台控制探针头来实现。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 探针 组合 纳米 传感器 测量 系统 | ||
【主权项】：
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