[发明专利]热电堆传感器的制作方法有效
| 申请号： | 202010617265.1 | 申请日： | 2020-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN112117372B | 公开（公告）日： | 2023-02-21 |
| 发明（设计）人： | 黄河 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路（宁波）有限公司上海分公司 |
| 主分类号： | H10N10/01 | 分类号： | H10N10/01;B81C1/00;G01J5/12 |
| 代理公司： | 上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327 | 代理人： | 李丽 |
| 地址： | 201210 上海市浦东新区中国（上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例提供了一种热电堆传感器的制作方法，包括提供热电堆结构板，所述热电堆结构板包括热辐射感应区，所述热辐射感应区中形成有热电堆结构；提供电路基板，在所述电路基板上形成热辐射反射板，并形成第一沟槽于覆盖所述电路基板的支撑层，所述热辐射反射板位于所述第一沟槽的下方；将所述支撑层与所述热电堆结构板键合，使所述第一沟槽夹设在所述热电堆结构板和所述电路基板之间形成第一空腔，所述热辐射反射板位于所述热电堆结构的下方。本发明实施例所提供的热电堆传感器的制作方法所得的热电堆传感器可以避免红外辐射的流失，提高测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 热电 传感器 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯集成电路（宁波）有限公司上海分公司，未经中芯集成电路（宁波）有限公司上海分公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010617265.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：热电堆传感器的制作方法
- 下一篇：热电堆传感器的制作方法
