[发明专利]光罩和光罩信息读取方法

摘要

本申请公开一种光罩和光罩信息读取方法，涉及半导体集成电路制造技术领域。其中光罩包括条形码区域，条形码区域中包括：主体读取图案、起始读取图案和终止读取图案。其中方法包括至少以下步骤：确定如本申请第一方面光罩中的条形码区域；使用检测光沿着特定方向扫描条形码区域；将条形码区域中的光罩信息转换为具有强弱交替变化，和强弱持续时间变化的透射光信号；将透射光信号转换为具有高低电平交替变化，和高低电平持续时间变化的电脉冲信号；对电脉冲信号整形为脉冲数字信号；确定脉冲数字信号中的起始信号和终止信号；以起始信号为开始对脉冲数字信号在时域上依次转换成字符，直至终止信号。能够解决相关技术出现读取信息无法识别的问题。