[发明专利]一种硅棒外形检测机构在审
| 申请号： | 202010608669.4 | 申请日： | 2020-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN111649676A | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 朱佰庆;李璐;王鹏;仇健;张毅 | 申请（专利权）人： | 长治高测新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B11/24;G01B11/26;G01B11/27;G01N21/952 |
| 代理公司： | 北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11624 | 代理人： | 任漱晨 |
| 地址： | 046000 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明属于硅棒检测技术领域，特别涉及一种硅棒外形检测机构，包括底座总成，沿底座总成长度方向的两端均设有侧面视觉组件。所述底座总成长度方向的两侧设有端面移动视觉组件和端面固定视觉组件，所述端面移动视觉组件旁设有端面移动传感器组件，所述端面固定视觉组件和底座总成之间设有端面固定传感器组件。本发明通过高精度位移传感器结合视觉系统对硅棒表面质量和几何参数进行视觉检测的自动化装置，能够准确快速完成硅棒表面质量检测工作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外形 检测 机构 | ||
【主权项】：
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