[发明专利]一种等离子化学气相沉积设备

摘要

本发明提供了一种等离子化学气相沉积设备，由于下部电极上存在磨损速度不同的多个电极区域，通过将下部电极的绝缘层也划分为多个绝缘区域，该多个绝缘区域与磨损速度不同的多个电极区域对应且多个绝缘区域的绝缘特性不同，即根据多个电极区域的磨损速度设置对应的绝缘特性的绝缘区域，以尽量减小下部电极的多个电极区域的磨损程度差异，从而提高了下部电极的磨损一致性，避免因局部磨损过快而导致的斑点等不良的产生，同时也能有效延长下部电极的使用寿命，避免频换新的下部电极所带来的成本增加。