[发明专利]设置插入层以提升功率的体声波谐振器、滤波器及电子设备有效
申请号: | 202010597300.8 | 申请日: | 2020-06-28 |
公开(公告)号: | CN111934640B | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
发明(设计)人: | 庞慰;郝龙;徐洋;张全德;马晓丹;杨清瑞 | 申请(专利权)人: | 诺思(天津)微系统有限责任公司 |
主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02;H03H9/17;H03H9/56 |
代理公司: | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人: | 汤雄军 |
地址: | 300462 天津市*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明涉及一种体声波谐振器,包括基底;声学镜;底电极;顶电极;和压电层,其中:所述谐振器在顶电极的连接边还包括第一插入层,第一插入层在谐振器的厚度方向上设置在顶电极与基底之间,且所述声学镜的边缘在谐振器的横向方向上处于第一插入层的内端与外端之间;所述谐振器在顶电极的连接边还包括第一不导电介质层,第一不导电介质层在谐振器的厚度方向上设置在第一插入层与顶电极之间,所述第一不导电介质层的内端在横向方向上位于第一插入层的内端的内侧,所述第一不导电介质层的外端在横向方向上与第一插入层的外端齐平或者处于第一插入层的外端的外侧。本发明还涉及一种滤波器以及一种电子设备。 | ||
搜索关键词: | 设置 插入 提升 功率 声波 谐振器 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】:
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