[发明专利]一种基于结构超滑的并联RF MEMS开关在审
| 申请号： | 202010596400.9 | 申请日： | 2020-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN111884644A | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 郑泉水;吴章辉;向小健 | 申请（专利权）人： | 深圳清华大学研究院;清华大学 |
| 主分类号： | H03K17/96 | 分类号： | H03K17/96 |
| 代理公司： | 深圳市惠邦知识产权代理事务所 44271 | 代理人： | 满群 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种并联RF‑MEMS开关开关，其特征在于：包括基底、驱动部件、绝缘层以及滑动部件，其中，所述驱动部件置于所述基底内部，所述驱动部件与所述基底表面平齐且保持纳米级平整；所述滑动部件具有充电电介质层，并具有原子级平整超滑面，滑动部件通过超滑面与绝缘层接触，并置于绝缘层之上；所述滑动部件能够被驱动在面内沿水平方向滑动，通过调整驱动部件与滑动部件垂直面内重叠与分离实现开关。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 结构 并联 rf mems 开关 | ||
【主权项】：
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