[发明专利]一种掩膜版组件、张网方法及蒸镀装置有效
| 申请号： | 202010596206.0 | 申请日： | 2020-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN111733380B | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 李典虹;苏长恒 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 李新干 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种掩膜版组件、张网方法及蒸镀装置。该掩膜版组件包括框架，支撑网，至少两块掩膜版，以及至少一个遮掩条，遮掩条的两端以一定的拉力固定连接在框架上，用于使框架产生预定的弹性形变，遮掩条设在两块相邻掩膜版之间的间隙处。本申请增加了至少一条遮掩条，只需要调整遮掩条的拉力就可以改善镀膜像素位置精度拉伸向整体尺寸精度，节约了掩膜版组件的制作成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜版 组件 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉华星光电半导体显示技术有限公司，未经武汉华星光电半导体显示技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010596206.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于秸秆的连续清洁炭化装置
- 下一篇：一种香蕉香精的提取方法
- 同类专利
- 专利分类
