[发明专利]基于方阻测量的激光清洗方法及激光清洗系统有效
| 申请号： | 202010595516.0 | 申请日： | 2020-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN111570419B | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 白杨;查榕威 | 申请（专利权）人： | 西北大学 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B13/00;G01D21/02 |
| 代理公司： | 北京前审知识产权代理有限公司 11760 | 代理人： | 张静 |
| 地址： | 710069 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于方阻测量的激光清洗方法及激光清洗系统，方法中，安装激光清洗机和四探针探头以对准待清洗样品，四探针探头连接电阻仪，调节激光清洗机参数，基底样品和待清洗样品放置在三维平台上，四探针探头向下移动压紧样品表面，分别测量出基底样品和待清洗样品的方阻，记录探针压力和样品的表面温度，设定单次清洗的扫描次数，对样品进行n次激光清洗，n为自然数，等已清洗样品静置自然冷却后，在所述探针压力和所述表面温度下，电阻仪测量出激光清洗后样品的方阻，计算相对清洗率Φ，当相对清洗率Φ大于等于预定值时，判断为清洗干净；当相对清洗率Φ小于预定值，重复清洗直到Φ大于等于预定值，结束清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 测量 激光 清洗 方法 系统 | ||
【主权项】：
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