[发明专利]高温蒸发源及其冷却装置有效
| 申请号： | 202010594608.7 | 申请日： | 2020-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN111733387B | 公开（公告）日： | 2023-01-06 |
| 发明（设计）人： | 艾金虎 | 申请（专利权）人： | 埃频（上海）仪器科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;F27D9/00 |
| 代理公司： | 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 | 代理人： | 李镝的 |
| 地址： | 201415 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种高温蒸发源及其冷却装置，所述高温蒸发源的冷却装置包括：隔热层，被配置为包裹加热丝，并使加热丝的热量与其他部件隔离；钼基座，被配置为支撑所述隔热层；水冷电极，被配置为承接所述加热丝的端部，延伸出所述钼基座；水冷罩，被配置为包裹所述隔热层，并对所述隔热层的外表面进行水冷冷却；电极基座，被配置为固定所述水冷电极及承载所述水冷罩；绝缘环，被配置为隔绝所述电极基座与所述水冷电极并使两者绝缘。 | ||
| 搜索关键词： | 高温 蒸发 及其 冷却 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于埃频（上海）仪器科技有限公司，未经埃频（上海）仪器科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010594608.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种服务器主板及其温度保护电路
- 下一篇：一种数据处理方法及装置
- 同类专利
- 专利分类
