[发明专利]一种使用磁铁控制石英坩埚的装置有效
申请号: | 202010590947.8 | 申请日: | 2020-06-24 |
公开(公告)号: | CN111826628B | 公开(公告)日: | 2022-07-29 |
发明(设计)人: | 邾根祥;朱沫浥;王伟;齐亚芹;王卫 | 申请(专利权)人: | 合肥科晶材料技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/24 |
代理公司: | 合肥东邦滋原专利代理事务所(普通合伙) 34155 | 代理人: | 张海燕 |
地址: | 230088 安徽省*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种使用磁铁控制石英坩埚的装置,属于石英坩埚设备技术领域,包括石英坩埚本体和加热炉本体,石英坩埚本体设置在加热炉本体内;石英坩埚本体包括石英管、石英盖板和石英坩埚座,石英管固定连接在石英坩埚座上,石英坩埚座内设有腔体,石英盖板活动连接在石英坩埚座的腔体内,石英管内设有耐高温金属丝,耐高温金属丝的一端连接有钕铁硼磁铁,钕铁硼磁铁位于石英管内,耐高温金属丝的另一端连接有氧化铝线,氧化铝线贯穿石英管的内壁,氧化铝线的一端连接在石英盖板上,石英管的一端外侧套设有与钕铁硼磁铁配合的钕铁硼磁环;本发明解决了现有技术中石英坩埚的位置固定无法移动和无法控制打开和闭合的石英坩埚的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 使用 磁铁 控制 石英 坩埚 装置 | ||
【主权项】:
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