[发明专利]半导体设备控制系统和系统监控方法有效
| 申请号： | 202010589086.1 | 申请日： | 2020-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN111781913B | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 杜青 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G05B23/02 | 分类号： | G05B23/02 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 李潇 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了半导体设备控制系统和系统监控方法，系统包括：上位机单元用于定时发送测试数据到下位机单元；根据是否发送成功确定下位机单元工作状态；下位机单元用于定时判断下位机测试状态值是否发生变化，进而确定上位机单元工作状态；下位机单元还用于定时发送测试数据到硬件控制单元，根据是否发送成功确定硬件控制单元工作状态；相邻发送的数据数值不同；硬件控制单元用于定时判断硬件控制测试状态值是否发生变化，进而确定下位机单元工作状态。该技术方案中，通过该系统能够在上位机单元与下位机单元之间，和/或，下位机单元与硬件控制单元之间双向监控另一方的工作状态，及时生成对应的警告信息，有效提高了系统安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体设备 控制系统 系统 监控 方法 | ||
【主权项】：
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