[发明专利]一种基于压电-摩擦耦合效应的自供能纳米传感器

摘要

本发明公开了一种基于压电‑摩擦耦合效应的自供能纳米传感器，所述纳米传感器的构型从上至下依次为压电‑摩擦结构层、电极层、支撑层、电极层和保护层，所述的压电‑摩擦纳米结构层是柔性基底上的纳米线结构。所述的结构层、支撑层和保护层都是柔性的聚合物材料。所述电极层是导电性能较好的金属或纤维材料。本发明采用纳米压印技术结合湿法腐蚀工艺实现纳米结构层的低成本制备，同时采用溅射、旋涂、粘接、蒸发和模压等技术集成电极层、支撑层和保护层，实现自供能纳米传感器制作。基于纳米线的压电‑摩擦耦合效应原理，传感器具有自供能、高能量转换效率和高灵敏度等性能，推动了其在植入式和穿戴式电子设备领域的实用化进程。