[发明专利]一种微流控检测芯片、其制作方法及使用方法有效
| 申请号： | 202010572413.2 | 申请日： | 2020-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN111686830B | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 陈江博;邓林;孟凡理;李延钊 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00;G01N21/25;G01N35/00 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 姚楠 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微流控检测芯片、其制作方法及使用方法，该微流控检测芯片，包括：衬底基板，位于衬底基板之上的微流道层，以及位于微流道层背离衬底基板一侧的雪崩光电二极管；雪崩光电二极管位于微流道层的微流道的位置处，用于检测微流道内的液体产生的光线。本发明实施例中，通过将雪崩光电二极管集成到微流控检测芯片中，提高了微流控检测芯片的检测成功率，可以实现高增益、极微弱光甚至单光子的光谱检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微流控 检测 芯片 制作方法 使用方法 | ||
【主权项】：
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