[发明专利]光声气体传感器和压力传感器在审
| 申请号： | 202010561831.1 | 申请日： | 2020-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN112113910A | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | J·曼兹;C·格拉策;D·图姆波德 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17;G01L9/12 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 张昊 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种MEMS光声气体传感器和压力传感器，该光声气体传感器包括第一膜和与第一膜相对且通过感测体积与第一膜隔开的第二膜。MEMS光声气体传感器包括电磁源，并且与感测体积通信以偏转第一膜和第二膜。 | ||
| 搜索关键词： | 声气 传感器 压力传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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