[发明专利]一种半导体设备在审
| 申请号： | 202010561670.6 | 申请日： | 2020-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN111735304A | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 郝晓明;赵文斌;杨来宝 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;F27D9/00 |
| 代理公司： | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人： | 孙向民;廉莉莉 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体设备，包括工艺炉，工艺炉包括：工艺炉体和自内而外依次环绕工艺炉体设置的保温层和外壳，且工艺炉体与保温层之间设置有第一环形通道；两个环形封堵部，两个环形封堵部分别环绕设置在工艺炉体的两个端部，每个环形封堵部均与外壳密封连接，且每个环形封堵部内均设置有至少一个气道，气道连通于第一环形通道；进风系统，进风系统通过至少一个气道向第一环形通道输送气体。本发明的有益效果在于，能够解决工艺炉降温速度和保温性不能兼顾的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体设备 | ||
【主权项】：
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