[发明专利]一种基于针尖轨迹运动加工微纳复合结构的装置及方法在审
| 申请号： | 202010561529.6 | 申请日： | 2020-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN111732073A | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 薛勃;杨春梅;闫永达;耿延泉 | 申请（专利权）人： | 东北林业大学;哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81C99/00;B23C3/28;B23Q5/22;B23Q5/34;B23Q15/22;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206 | 代理人： | 高媛 |
| 地址： | 150040 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种基于针尖轨迹运动加工微纳复合结构的装置及方法，涉及一种加工微纳复合结构的装置及方法。z向竖直微米定位台固定在基座上方，用于带动刀具初步逼近加工工件表面，一维压电纳米位移台固定在z向竖直微米定位台上，用于控制加工深度，针尖轨迹运动加工模块固定在一维压电纳米位移台上，用于控制刀具的竖直公转运动，x‑y向水平定位台固定在基座上表面，用于控制水平加工进给运动，水平调平台固定在x‑y向水平定位台上，用于安装加工工件并可调节消除其表面倾斜度，数码显微镜固定在基座上表面，用于检测对刀。能够在金属表面上加工出侧壁带有亚波长光栅的V形微沟槽结构，实现了对微纳复合分级结构的加工。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 针尖 轨迹 运动 加工 复合 结构 装置 方法 | ||
【主权项】：
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