[发明专利]沉积源在审
| 申请号： | 202010558692.7 | 申请日： | 2020-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN112779502A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 吴守贤;鲁硕原;朴国喆 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/12;H01L51/00;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 车玉珠;康泉 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供沉积源。沉积源包括：坩锅，沿一方向延伸且上侧开放；盖板，与坩埚结合且遮蔽坩埚的开放部分；及至少一个喷嘴组，包括与盖板结合且沿坩埚的延伸方向排列的多个单元喷嘴，各单元喷嘴包括：位于上侧的第一吐出口；及第一喷嘴流路，连接第一吐出口和坩埚且由单元喷嘴侧壁包围，第一喷嘴流路包括：位于下部的第一下端部；及第一上端部，与第一下端部连接且位于第一下端部的上部，第一下端部具有均匀的宽度，越靠近第一吐出口时，第一上端部的宽度会变得越宽，单元喷嘴侧壁包括：第一外侧壁，设置在第一最外围单元喷嘴的一侧；第二外侧壁，设置在第二最外围单元喷嘴的另一侧；及共用侧壁，设置在相邻的单元喷嘴之间。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 | ||
【主权项】：
暂无信息
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