[发明专利]一种精准转移二维材料的方法及其应用有效
| 申请号： | 202010554550.3 | 申请日： | 2020-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN111874896B | 公开（公告）日： | 2023-07-07 |
| 发明（设计）人： | 李耀东;翁士瑞;甄伟立;朱文卡;张昌锦 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | C01B32/194 | 分类号： | C01B32/194;H01L29/165 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 周静 |
| 地址： | 230031 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种精准转移二维材料的方法及其应用，包括以下步骤：在衬底上获取二维材料，旋涂PMMA形成PMMA膜，使二维材料附着在PMMA膜下方；将PMMA膜与衬底分离，利用透明载体粘附PMMA膜；将附着有PMMA膜的透明载体倒贴在位移台的机械臂上，将其转移至目标衬底的目标位置；依次去除透明载体、PMMA膜，即可实现二维材料的精准转移。本方法同时适用于通过气相沉积和机械剥离制得的二维材料，且可以将二维材料准确转移到某一个确定点位置，使其在二维材料异质结制备以及器件电极制备领域发挥极大的优势；本方法适用范围广、效率高，转移介质少，观察更清晰，且所需设备价格低、操作简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 精准 转移 二维 材料 方法 及其 应用 | ||
【主权项】：
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