[发明专利]一种提高高效晶硅异质结太阳能电池短路电流的方法

摘要

本发明涉及的一种提高高效晶硅异质结太阳能电池短路电流的方法，它包括以下内容：先对N型硅衬底进行制绒、清洗处理：进料后，先经过预清洗把硅片表面的有机物等污染物清除，再通过粗抛把切割损伤层去除，水洗后再制绒，再水洗然后碱洗，再经过两道水洗和酸洗，最后烘干后出料；通过慢沉积的PECVD制备双面本征非晶硅层；沉积功率为18~20 mW/cm²，沉积速率为2~3A/s。本发明的清洗制绒省去修正步骤，不对金字塔绒面进行圆润修饰，从而降低硅片表面反射率，同时PECVD沉积非晶硅薄膜工艺采用慢沉积方法，短路电流有明显提升，从而提升电池的光电转换效率。