[发明专利]多晶硅还原炉自动化控制方法有效
| 申请号： | 202010541113.8 | 申请日： | 2020-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN111591997B | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 丁小海;宗冰;吉红平;杨明财;王体虎 | 申请（专利权）人： | 亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/027 | 分类号： | C01B33/027;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 李青 |
| 地址： | 810007 青海*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： | 本发明涉及多晶硅生产技术领域，尤其是涉及一种多晶硅还原炉自动化控制方法，包括以下步骤：在还原炉运行之前，将电流曲线以及还原炉的运行周期内的理想温度曲线输入至还原炉的控制系统中；将还原炉的运行周期划分为第一阶段和第二阶段，分别包括多个时间点，在各个时间点对硅棒的温度进行实时测量；在第一阶段，根据所测量的硅棒在某一时间点的实际温度与该时间点在理想温度曲线上对应的理想温度之间的差值以及该时间点在电流曲线上对应的电流值计算第一补偿电流，以使硅棒表面的温度维持在设定温度范围；在第二阶段，控制系统根据辐射功率变化计算第二补偿电流。本发明提供的控制方法能够保证对还原炉整个生产过程中的温度进行准确控制。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 还原 自动化 控制 方法 | ||
【主权项】：
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