[发明专利]一种基于GM制冷机的带双旋转轴的低温样品架

摘要

本发明提供了一种基于GM制冷机的带双旋转轴的低温样品架，包括制冷机(1)、法兰(2)和样品架头部，所述制冷机(1)包括一级冷头(3)和二级冷头(4)，所述二级冷头(4)连接所述一级冷头(3)，其特征在于：还包括面内角驱动电机(51)、面内角Rotary Feedthrough(52)、面内角柔性轴(53)、面内角传动轴(54)、面内角滑移联轴器(55)、面内角滑移齿轮组(56)、面内角万向节联轴器(57)、面内角直齿齿轮组(58)、面内角蜗轮蜗杆组(59)和样品台(7)。本发明的有益效果是：基于GM制冷机，可以在样品托极低温的前提下可实现2自由度旋转并且2个旋转运动相互独立，不受干扰并且在超大温区变化范围内面内角的运动顺畅。