[发明专利]一种基于双链式SNAP结构微腔阵列的位移传感系统有效
| 申请号： | 202010524947.8 | 申请日： | 2020-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN111895914B | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 董永超;孙鹏辉;赵泽政;陈剑;王晗;王瑞洲 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 广东广信君达律师事务所 44329 | 代理人： | 江金城 |
| 地址： | 510062 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于双链式SNAP结构微腔阵列的位移传感系统，该位移传感系统主要包括可调谐激光器、偏振控制器、耦合波导、SNAP结构微腔阵列双链、位移装置、光电探测器、以及计算机。可调谐激光器产生扫频激光，经偏振控制器和耦合波导进入双链的SNAP结构微腔，光电探测器获取谐振谱并送入计算机处理。当微腔移动时，基于单个SNAP结构微腔的谐振谱特征实现半个SNAP结构长度的位移传感；每跨过半个SNAP结构长度，通过依次切换使用双链中的SNAP微腔产生的谐振谱，实现全范围的位移传感。该位移传感系统可实现大量程位移的高精度传感，且具有体积小、成本低和具备微结构测量的优势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 链式 snap 结构 阵列 位移 传感 系统 | ||
【主权项】：
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