[发明专利]一种基于双铌源的铌酸钾钠同质多层薄膜的制备方法有效
申请号: | 202010524239.4 | 申请日: | 2020-06-10 |
公开(公告)号: | CN111668363B | 公开(公告)日: | 2022-08-05 |
发明(设计)人: | 张伟;鲍建秋;朱海勇;姜智艺;张雪花;胡芳仁 | 申请(专利权)人: | 南京邮电大学 |
主分类号: | H01L41/39 | 分类号: | H01L41/39;H01L41/187;C01G33/00 |
代理公司: | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人: | 陈国强 |
地址: | 210000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于双铌源的铌酸钾钠同质多层薄膜的制备方法,步骤为:(1)将五氧化二铌溶解于氢氟酸中,再添加草酸铵,滴加氨水生成白色沉淀,加入柠檬酸得到铌‑柠溶液,继续过滤得到澄清溶液,加入钾盐和钠盐,加入乙二醇,静置得到澄清的铌酸钾钠前驱体溶胶;(2)滴加乙二醇甲醚于反应釜中,吸取乙醇铌置于乙二醇甲醚中,混合溶液水浴加热,滴加冰醋酸,乙酰丙酮和甲酰胺,加入钾盐和钠盐搅拌,得到明黄色铌酸钾钠前驱体溶胶;(3)在硅片上交替旋涂步骤(1)制备的铌酸钾钠前驱体溶胶和步骤(2)制备的铌酸钾钠前驱体溶胶,得到铌酸钾钠同质多层薄膜。本发明得到的KNN多层薄膜在(100)取向高度择优。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 双铌源 铌酸钾钠 同质 多层 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】:
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