[发明专利]一种从ITO残靶/废靶中回收ITO粉末的方法有效
申请号: | 202010512131.3 | 申请日: | 2020-06-08 |
公开(公告)号: | CN111620367B | 公开(公告)日: | 2022-06-28 |
发明(设计)人: | 蔡小勇;张科;李康;李强 | 申请(专利权)人: | 福建阿石创新材料股份有限公司 |
主分类号: | C01G19/00 | 分类号: | C01G19/00;B82Y30/00;B82Y40/00;B02C21/00 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 代芳 |
地址: | 350200 福建省福州*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明提供了一种从ITO残靶/废靶中回收ITO粉末的方法,涉及光电材料循环利用技术领域。本发明通过ITO残靶/废靶表面清洁和酸洗、热应力破碎处理、环辊磨破碎处理、气流破碎处理和振动球磨处理,将ITO残靶/废靶加工成粒径为100~500nm的ITO纳米粉末。本发明提供的方法将ITO残靶/废靶加工成可直接用于ITO靶材制备的ITO粉末,且过程简单、节能环保、生产成本低,适合大规模生产;同时,回收得到的ITO粉末纯度很高,可达99.99%,也大大提高了废靶的回收率,废靶的回收率大于98%。 | ||
搜索关键词: | 一种 ito 残靶 废靶中 回收 粉末 方法 | ||
【主权项】:
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