[发明专利]半导体器件结构及其形成方法在审
| 申请号： | 202010511577.4 | 申请日： | 2020-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN112599484A | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 朱景升;徐晨祐 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/488 | 分类号： | H01L23/488;H01L21/48;H01L27/092 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 薛恒;王琳 |
| 地址： | 中国台湾新竹科学工业园区新*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本揭露的各种实施例涉及一种半导体器件结构，所述半导体器件结构包括上覆在结合垫上的凸块结构。结合垫设置在半导体衬底之上。刻蚀停止层上覆在结合垫上。缓冲层设置在结合垫之上且将刻蚀停止层与结合垫隔开。凸块结构包括基部部分及上部部分，基部部分接触结合垫的上表面，上部部分延伸穿过刻蚀停止层及缓冲层。凸块结构的基部部分具有第一宽度或直径且凸块结构的上部部分具有第二宽度或直径。第一宽度或直径大于第二宽度或直径。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体器件 结构 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
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