[发明专利]一种电子束沉积喷头及方法在审
| 申请号： | 202010469811.1 | 申请日： | 2020-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN111441045A | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 王强;杨驹;牛文娟;李洋洋;李旭 | 申请（专利权）人： | 西安建筑科技大学 |
| 主分类号： | C23C24/08 | 分类号： | C23C24/08 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 姚咏华 |
| 地址： | 710055 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电子束沉积喷头及方法，包括喷嘴和高压气体加热器，高压气体加热器内部设有加热腔，高压气体加热器上设有与加热腔连通的高压气体接口，高压气体加热器的上端设有电子束装置连接口；喷嘴为圆锥形喷嘴，喷嘴为中空结构，喷嘴的小端设有供电子束通过的电子束孔，喷嘴的大端与高压气体加热器的下端连接，喷嘴内部沿其周向均匀对称布设有若干拉阀管，拉阀管从喷嘴的大端面延伸至喷嘴的小端面，拉阀管从喷嘴的大端面至小端面方向包括依次连通的收缩段、喉口和扩张段，拉阀管收缩段的入口与高压气体加热器的加热腔连通，喷嘴上在喉口的部位设有与喉口连通的送粉管道。本发明能够电子束与粉束在一个结构里实现耦合，保证涂层质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子束 沉积 喷头 方法 | ||
【主权项】：
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