[发明专利]Fe70有效

专利信息
申请号: 202010469335.3 申请日: 2020-05-28
公开(公告)号: CN111441027B 公开(公告)日: 2022-01-11
发明(设计)人: 贾延东;马昕迪;耿川;王刚;易军;黄波;翟启杰 申请(专利权)人: 上海大学
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/16;C22C45/02
代理公司: 北京睿智保诚专利代理事务所(普通合伙) 11732 代理人: 周新楣
地址: 200444*** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 本申请公开了一种Fe70Nb10B20非晶合金薄膜的表面改性方法包括如下步骤:将靶材安装至磁控溅射设备的靶头,靶材包含Fe、Nb和B元素;将实验衬底安置于基板的板面;调整基板的位置使实验衬底朝向靶头;安装基板以使衬底朝向靶头;加热基板使其温度达到第一预设温度;使靶材和基板所处的空间处于预设氩气气氛状态;使靶头通电;使靶材以预设溅射状态向基板进行溅射。本申请的有益之处在于提供了一种能够获得耐磨性较好的Fe70Nb10B20非晶合金薄膜的表面改性方法。
搜索关键词: fe base sub 70
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海大学,未经上海大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202010469335.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top