[发明专利]垂直腔表面发射激光器及其负电极的制作方法在审
| 申请号： | 202010445983.5 | 申请日： | 2020-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN111355123A | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 方照诒;李承远;潘德烈 | 申请（专利权）人： | 北京金太光芯科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/042 | 分类号： | H01S5/042;H01S5/183 |
| 代理公司： | 北京驰纳智财知识产权代理事务所(普通合伙) 11367 | 代理人： | 李佳佳 |
| 地址： | 100006 北京市东城*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种垂直腔表面发射激光器及其负电极的制作方法，包括沿纵向延伸的基板（10）、在基板（10）上形成的至少一个台面结构、在每个台面结构的顶部设置有正电极（25），其中每个台面结构均是通过选择性地移除在基板（10）上依次生成的衬底（15）、第一镜层（20）、主动区（30）和第二镜层（40）中的至少一部分，且进行侧壁氧化和钝化而形成的，所述垂直腔表面发射激光器还包括：负电极（24），负电极（24）是采用湿法氧化工艺形成在移除后剩余的第一镜层（20）内部或者形成在移除后剩余的第一镜层（20）和衬底（15）的内部，负电极（24）围绕所述台面结构。本发明的负电极与第一镜层的接触面积比较大。 | ||
| 搜索关键词： | 垂直 表面 发射 激光器 及其 电极 制作方法 | ||
【主权项】：
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