[发明专利]氧化镓纳米结构器件及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 202010445659.3 | 申请日： | 2020-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN113702447B | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 张晓东;唐文博;何涛;张宝顺 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;B82Y15/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王茹 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种氧化镓纳米结构器件及其制备方法和应用。所述制备方法包括：在氧化镓薄膜上沉积金属镓，使所述氧化镓薄膜表面的多个区域被所述金属镓腐蚀，从而在所述氧化镓薄膜上形成多个纳米孔；以及制作与所述氧化镓薄膜相配合的电极。本发明提供的制备方法，利用金属镓腐蚀氧化镓薄膜形成纳米孔，获得的纳米孔薄膜具有更大的比表面积，从而可吸附更多环境中待检测的气体分子，并且有利于减小器件尺寸，实现高集成度、微型化、低功耗的探测器件；该纳米结构的制备工艺无需额外的半导体加工设备进行刻蚀或腐蚀，有利于降低成本，且此工艺为原位腐蚀工艺，不引入新的表面态、界面态，无外界污染，具有低损伤、无界面污染等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化 纳米 结构 器件 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，未经中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010445659.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
