[发明专利]改善静电累积的方法及系统在审
| 申请号： | 202010439801.3 | 申请日： | 2020-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN111556638A | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 汪正和;王俊俊;徐凯;孙伟兵 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H05F3/06 | 分类号： | H05F3/06;H05F3/00 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 刁文魁 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种改善静电累积的方法及系统。所述方法包含下列步骤：使用至少一离子风棒去除一彩膜基板上的静电；测试所述离子风棒的效果；对所述离子风棒进行管理上线；以及控制湿度介于55％至60％。所述系统包含至少一制程站点，包含一第一制程站点及一第二制程站点；一传动机构，包含至少一夹持单元，用于夹住并自动化传送所述彩膜基板从所述第一制程站点到所述第二制程站点；以及至少一离子风棒，设置在所述第一制程站点及所述第二制程站点中的每一个，其中所述夹持单元的材料是导电的。 | ||
| 搜索关键词： | 改善 静电 累积 方法 系统 | ||
【主权项】：
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