[发明专利]一种柔性触觉传感器阵列及其制备方法

摘要

本发明公开了一种柔性触觉传感器阵列及其制备方法，其中柔性触觉传感器阵列包括柔性基底和触觉传感阵列；触觉传感阵列包括N×M个触觉传感单元和互联线网络；触觉传感单元为一个被共形的聚合物包裹封装的栅状金属箔，且每个栅状金属箔上集成了原位硬质微柱阵列；互联线网络包括垂直交叉的N条行线和M条列线，在交叉点行线与列线被交叉绝缘垫彼此绝缘，行线与列线均被共形的聚合物包裹封装；柔性基底与触觉传感阵列键合为整体。本发明根据金属箔的电阻受压改变的机理，构造了原位硬质微柱挤压栅状金属箔的结构，并以此为触觉传感单元结合互联线网络构造了新型触觉传感器阵列，具有高稳定性、高灵敏度、低迟滞、高集成度等优点。