[发明专利]一种超声振动辅助真空微蒸发镀设备

摘要

本发明公开了一种超声振动辅助真空微蒸发镀设备，属于蒸镀设备技术领域，该设备包括加热室以及上方的真空箱盖，其与加热室的基底之间至上而下依次设置有微沉积坩埚，所述的微沉积坩埚下方设置有汇流板；所述的微沉积坩埚周围设置有石墨加热电极，所述的石墨加热电极利用软母排与汇流板连接；所述的汇流板内部设置有超声振动辅助系统，所述的超声振动辅助系统包括变幅杆以及变幅杆下方设置的换能器，所述的换能器与汇流板中的电路相连接，且变幅杆位于微沉积坩埚的正下方；本发明采用石墨电极对微沉积坩埚进行直接加热，减少电、热能损耗，使镀覆过程中坩埚内部温度均匀。