[发明专利]多波长滤光片的制造方法及多波长滤光片在审

专利信息
申请号: 202010433285.3 申请日: 2020-05-21
公开(公告)号: CN111334757A 公开(公告)日: 2020-06-26
发明(设计)人: 简坤胜 申请(专利权)人: 南昌欧菲光电技术有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C03C17/00;C23C14/04;G02B5/20
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 刘宁
地址: 330013 江西省南昌市*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 发明涉及一种多波长滤光片的制造方法及多波长滤光片,依次包括以下步骤:提供一种玻璃基片,玻璃基片的一垂直于其厚度方向的表面上包括多个区域,每一区域内形成有滤光膜层,多个区域包括相邻的第一区域和第二区域;通过第一蒸镀工艺在第一区域形成第一滤光膜层;通过第二蒸镀工艺在第二区域形成第二滤光膜层,第一滤光膜层和第二滤光膜层可过滤光线的波段不同,以能够在同一个玻璃基片上形成波段不同的第一滤光膜层和第二滤光膜层,该制备方法仅通过多次蒸镀工艺就能够在玻璃基片的不同区域内集成多个波段的滤光膜层,相对于现有的多波长滤光片体积较小,无需进行组装处理,使得制备工艺较为简单,产品良率较高,结构稳定性较好。
搜索关键词: 波长 滤光 制造 方法
【主权项】:
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