[发明专利]垂直腔面发射激光器在审

专利信息
申请号: 202010428977.9 申请日: 2016-05-31
公开(公告)号: CN111564753A 公开(公告)日: 2020-08-21
发明(设计)人: P·H·格拉赫;R·金 申请(专利权)人: 通快光电器件有限公司
主分类号: H01S5/042 分类号: H01S5/042;H01S5/183;H01S5/42
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 李光颖
地址: 德国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种垂直腔面发射激光器(100),其包括第一电接触部(105)、基底(110)、第一分布式布拉格反射器(115)、有源层(120)、第二分布式布拉格反射器(130)和第二电接触部(135)。所述垂直腔面发射激光器包括至少一个AlyGa(1‑y)As层,其中0.95≤y≤1且厚度为至少40nm,其中,所述AlyGa(1‑y)As层借助至少一个氧化控制层(119、125b)来分离。本发明还涉及一种包括这样VCSEL(100)的激光器设备(300),所述VCSEL(100)优选为由驱动电路(310)驱动的这样的VCSEL(100)的阵列。本发明还涉及制造这样的VCSEL(100)的方法。
搜索关键词: 垂直 发射 激光器
【主权项】:
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