[发明专利]光学位移计在审
| 申请号： | 202010428535.4 | 申请日： | 2020-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN112781500A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 冬野明 | 申请（专利权）人： | 株式会社基恩士 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京格罗巴尔知识产权代理事务所(普通合伙) 11406 | 代理人： | 孙德崇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种光学位移计，其容易调整相对于工件的位置而不会降低轮廓的测量精度。摄像头(100)包括激光投射器(110)、LED投射器(120)、光接收透镜(132)、光接收器(131)和处理器(200)。激光投射器(110)将测量光发射至工件(W)。LED投射器(120)将均匀观察光发射至工件(W)。光接收透镜(132)会聚从工件(W)反射回的测量光的反射光和观察光的反射光。光接收器(131)具有由二维布置的多个光接收元件组成的光接收面。激光投射器(110)、光接收器(131)和光接收透镜(132)被布置成包含光接收面的平面和包含光接收透镜(132)的主面的平面相对于激光投射器(110)的光投射轴满足Scheimpflug条件。这使得能生成示出光接收器(131)的焦点与测量期间测量光照射的测量位置附近的区域相对一致的观察图像的观察图像数据。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 位移 | ||
【主权项】：
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