[发明专利]一种气体采样分析装置和方法有效
| 申请号： | 202010427108.4 | 申请日： | 2020-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN111638263B | 公开（公告）日： | 2023-08-18 |
| 发明（设计）人： | 王魁波;吴晓斌;罗艳;谢婉露 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01N27/62 | 分类号： | G01N27/62;G01N1/24;G01N33/00 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 付婧 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种气体采样分析装置和方法，所述装置包括：真空获取模块、采样模块和气体分析模块；其中，所述气体分析模块分别与所述真空获取模块、和采样模块连接；其中，所述真空获取模块包括限流阀，所述限流阀开启和关闭时，分别实现所述气体分析模块的极限真空和工作真空。因此，采用本申请实施例，可以实现对高压、常压和真空气体进行在线分析；增加气体采样量，提高系统响应速度；消除了气体采样时的分子歧视效应和抽速选择性，实现无损采样分析以及实现气体采样分析装置自带校准，从而提高气体采样分析结果的准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气体 采样 分析 装置 方法 | ||
【主权项】：
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