[发明专利]一种平行平板多表面检测方法及夹具

摘要

本发明涉及一种本发明提出一种基于目标信息最优迭代的平行平板多表面检测方法和夹具，用于求解包括二次反射信号的多表面透明被测件面形。使用Fizeau式波长移相干涉仪采集干涉图，以目标件上已知信息分布量化求解误差和引导优化方向，使用BFGS拟牛顿法和最速下降法求解最小二乘方程得到各表面目标信号的形貌分布。本发明夹具：夹具上部包括一个上夹具架体、两个螺纹孔、两副螺杆与配套螺母、三个压紧杆单元与三个上压紧匹配杆，压紧匹配杆中间开孔作为压紧孔，内置弹簧。夹具下部包括：下夹具架体、两个螺纹孔、两个下压紧匹配杆、两个转动压紧单元、一个伸出杆、两个扭簧、两个螺母、一个下压紧头、一个橡胶套、两个压紧螺杆。