[发明专利]一种离子镀旋转直线复合式引弧装置及离子镀膜装置有效
| 申请号： | 202010414048.2 | 申请日： | 2020-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN111705298B | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 郎文昌;朱豪威;胡晓忠 | 申请（专利权）人： | 温州职业技术学院 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 温州名创知识产权代理有限公司 33258 | 代理人： | 程嘉炜 |
| 地址： | 325000 浙江省温州市瓯海*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及电弧离子镀膜技术领域，具体涉及一种离子镀旋转直线复合式引弧装置及离子镀膜装置，其中离子镀旋转直线复合式引弧装置包括驱动组件、引弧杆、引弧针，所述引弧针安装在引弧杆的一端，所述驱动组件可驱动引弧杆沿直线运动以及可驱动引弧杆旋转运动。本发明可使引弧针有效避开靶材离化的金属离子直接沉积,很大程度降低沉积于引弧针上的膜层厚度,同时也提高了引弧针的导电性，增大了放电引弧的稳定性。引弧针远离靶面，靶面前无遮挡，更有利于靶面沉积膜层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子镀 旋转 直线 复合 式引弧 装置 离子 镀膜 | ||
【主权项】：
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