[发明专利]一种紫外宽光谱光刻镜头有效
| 申请号： | 202010413573.2 | 申请日： | 2020-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN111505912B | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 李文静;薛业保;章广飞;王运钢 | 申请（专利权）人： | 安徽国芯智能装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 34124 | 代理人： | 丁瑞瑞 |
| 地址： | 236000 安徽省合肥市包河经济开发*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明一种紫外宽光谱光刻镜头，其特征在于，镜头包括：沿紫外光源到目标的顺序依次设置的紫外光源、第一镜组、第二镜组第三镜组以及第四镜组，紫外光源包括数字微反射镜以及第一透镜，第一透镜为双或平凸透镜；第一镜组包括：沿紫外光源到目标的顺序依次设置的第一数量个正透镜以及第二数量个负透镜，且第一镜组的组合焦距为正；第二镜组包括：沿紫外光源到目标的顺序依次设置的第三数量个正透镜以及第四数量个负透镜，且第二镜组的组合焦距为正，第二镜组中距离第一镜组最近的透镜可以沿光轴方向运动；第三镜组包括：沿紫外光源到目标的顺序依次设置的第五数量个正透镜，且第三镜组的组合焦距为正。应用本发明实施例，可以降低光刻成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 紫外 光谱 光刻 镜头 | ||
【主权项】：
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