[发明专利]一种用于全芯片光源掩模联合优化关键图形筛选的掩模图形频谱包络分割方法有效
| 申请号： | 202010412950.0 | 申请日： | 2020-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN111415362B | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 廖陆峰;李思坤;王向朝 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G06T7/11 | 分类号： | G06T7/11;G06T7/181 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于全芯片光源掩模联合优化关键图形筛选的掩模图形频谱包络分割方法。所述方法通过寻找频谱强度值矩阵的8邻域极大值点作为包络顶点，针对每个极大值点采用设计的包络生长法寻找属于当前包络的点以及包络的边界点。本发明设计的包络生长法通过搜寻当前包络点的4邻域来找到属于当前包络的新的点以及包络的边界点，从而实现包络的生长。本发明可以准确地对频谱包络进行分割，更准确地提取图形频谱的包络信息，使得最终的关键图形筛选结果准确。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 芯片 光源 联合 优化 关键 图形 筛选 频谱 包络 分割 方法 | ||
【主权项】：
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